เครื่องขับเคลื่อนฮาร์มอนิก ได้กลายเป็นส่วนประกอบที่จําเป็นในอุปกรณ์ครึ่งนํา

เครื่องขับเคลื่อนฮาร์มอนิกถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมครึ่งประสาท ด้วยความแม่นยําสูง, กระทบกลับต่ํา, การออกแบบที่คอมแพคต์ และความน่าเชื่อถือสูงการขับเคลื่อนฮาร์มอนิก ได้กลายเป็นส่วนประกอบที่จําเป็นในอุปกรณ์ครึ่งตัวนําจากการโอนแผ่นและการถ่ายภาพถึงการถัก การบรรจุและการตรวจสอบ เครื่องขับเคลื่อนฮาร์โมนิกการปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและการรับประกันคุณภาพสินค้าในการผลิตครึ่งตัวนํา.

อุปกรณ์ถ่ายโอนแผ่น

ในการผลิตครึ่งตัวนํา เครื่องจักรขนส่งแผ่นต้องการการควบคุมการเคลื่อนไหวที่แม่นยําและมั่นคงสูงใช้กันอย่างแพร่หลายใน โรบอตในการถ่ายส่งและการจัดการโวเฟอร์หุ่นยนต์เหล่านี้ต้องย้ายแผ่นในพื้นที่กั้นอย่างมีประสิทธิภาพและแม่นยํา และการขับเคลื่อนแบบฮาร์โมนิกให้มีการเคลื่อนไหวที่เรียบร้อยและไม่สั่น

เครื่องถ่ายภาพลิตโกรฟี

เครื่องถ่ายภาพเป็นอุปกรณ์ที่สําคัญในการผลิตครึ่งประสาท ซึ่งต้องการความแม่นยําสูงมากเครื่องขับเคลื่อนฮาร์โมนิกถูกใช้อย่างแพร่หลายในระบบการจัดสรรและแพลตฟอร์มการสแกนของเครื่องถ่ายภาพความแม่นยํานี้ทําให้การจัดสรรและการเผยแพร่แบบที่แม่นยําบนแผ่น, ปรับปรุงคุณภาพการผลิตชิปและผลิต.

อุปกรณ์การฉลาก

อุปกรณ์การถักใช้ในการสร้างโครงสร้างวงจรขนาดเล็กบนพื้นผิวของแผ่นขีดขวาง ซึ่งต้องการการควบคุมปริมาตรกระบวนการอย่างแม่นยํามากการขับเคลื่อนฮาร์มอนิกในอุปกรณ์เหล่านี้ขับเคลื่อนส่วนประกอบการเคลื่อนไหวที่แม่นยําเพื่อให้แน่ใจว่าการควบคุมที่มั่นคงและเท่าเทียมกันของกระบวนการถัก, รับประกันความแม่นยําของกระบวนการสูง

อุปกรณ์ตรวจสอบและวัด

ระหว่างการผลิตครึ่งตัวนํา การตรวจสอบและการวัดมีความสําคัญในการรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์และอุปกรณ์ทดสอบคุณสมบัติไฟฟ้า, ทั้งหมดนี้ต้องการการควบคุมการเคลื่อนไหวที่แม่นยํามาก ความซ้ําซ้ําสูงของการขับเคลื่อนฮาร์มอนิก รับประกันความแม่นยําและความน่าเชื่อถือในระบบตรวจสอบเหล่านี้

การใช้งานในสภาพแวดล้อมว่าง

กระบวนการครึ่งประสาทบางอย่าง เช่น การเคลือบแผ่นและการฝาก ต้องดําเนินการในสภาพแวดล้อมความว่างสูงและมีความสามารถในการทํางานโดยไม่ใช้น้ํามันลื่น, การขับเคลื่อนฮาร์โมนิคเหมาะสมสําหรับสภาพแวดล้อมระยะว่าง โดยเฉพาะอย่างยิ่ง ทําให้มันถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การประมวลผลระยะว่าง

อุปกรณ์บรรจุ

อุปกรณ์บรรจุครึ่งตัวที่ใช้ในการบรรจุชิปบนตัวพกพา ต้องการการทํางานที่รวดเร็วและแม่นยําคุณสมบัติการตอบสนองแบบไดนามิกสูงและการตอบสนองแบบต่ําของเครื่องขับเคลื่อนฮาร์โมนิกทําให้สามารถควบคุมการเคลื่อนไหวทางกลที่ซับซ้อนในอุปกรณ์บรรจุการประกันประสิทธิภาพสูงและผลผลิตสูงในกระบวนการบรรจุ

อุปกรณ์เคลือบและบด

ในกระบวนการด้านหลังของการผลิตแผ่นขีดขนาบ การเคลือบและการบดเป็นขั้นตอนที่สําคัญ เครื่องขับเคลื่อนฮาร์โมนิกสามารถให้การควบคุมการเคลื่อนไหวแม่นยําสูง, ทอร์คสูงสําหรับอุปกรณ์เหล่านี้รับประกันความแม่นยําทางกลระหว่างกระบวนการเคลือบและบด, ซึ่งช่วยเพิ่มความเรียบและคุณภาพผิวของแผ่น

การใช้งานในสายการผลิตอัตโนมัติ

เครื่องขับเคลื่อนฮาร์โมนิกยังถูกใช้ในระยะต่างๆ ของสายการผลิตครึ่งตัวนําอัตโนมัติ รวมถึงแขนหุ่นยนต์ คอนเวียร์เบลท์ และอุปกรณ์ประกอบประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของพวกเขาเพิ่มระดับการอัตโนมัติในเส้นทางการผลิตทั้งหมด, ลดการลงมือและอัตราความผิดพลาด